Když je délka v jednom směru menší než délka v ostatních dvou směrech, nazývá se tato struktura tenký film. V dnešní době kontinuální aplikace mikroelektronických filmů, optických filmů, anti-oxidačních filmů, obřích magnetorezistivních filmů, vysokoteplotních supravodivých filmů atd. v průmyslové výrobě a lidském životě je tloušťka filmů vyráběných v průmyslu velmi důležitým parametrem, přímo souvisí s tím, zda filmový materiál může normálně fungovat.
Normálně se tloušťka filmu týká vzdálenosti mezi povrchem substrátu a povrchem filmu. Ve skutečnosti je povrch fólie nerovný a nesouvislý a na povrchu jsou dírky, mikrotrhlinky, vlákna vláken, nečistoty, mřížkové defekty a molekuly adsorbované na povrchu. Například různé tenké vrstvy ve výrobním procesu velkých-integrovaných obvodů budou mít přímý dopad na výkon integrovaných obvodů v důsledku neustálého zlepšování stupně integrace obvodů a jakýchkoli malých změn v tloušťce tenké vrstvy. Kromě toho mechanické vlastnosti, vlastnosti prostupu světla, magnetické vlastnosti, tepelná vodivost, struktura povrchu atd. tenkovrstvých materiálů úzce souvisí s tloušťkou. Přesné online měření tloušťky filmu ve výrobním procesu je proto důležitým prostředkem k zajištění kvality produktu a zlepšení efektivity výroby.
Pro přesné měření tloušťky filmu záleží na tom, jaký typ snímače tloušťky je použit. V současné době existuje především několik metod pro online technologii detekce tloušťky filmu:
1. Beta sonda je nejstarším senzorem používaným pro detekci tenkých vrstev. Jako zdroj signálu používá zdroj beta záření a technologie je vyspělá. K používání radioaktivních zářičů je však nutná licence a postupy dovozu a vývozu jsou poměrně složité. Existuje poloviční-limit životnosti a přesnost detekce klesá s útlumem radioaktivního zdroje.
2. Infračervené sondy používají princip, že specifické infračervené pásy jsou silně absorbovány ve specifických plastových fóliích pro měření tloušťky filmu. Senzor je stabilní v detekci a není ovlivněn změnami prostředí, je však citlivý na změny aditiv a barev a není vhodné vyrábět více produktů na stejné výrobní lince.
3. Rentgenová sonda využívá rentgenovou trubici ke generování rentgenového záření jako zdroje signálu k detekci tloušťky plastového filmu. Existuje mnoho výhod: létající radioaktivní materiály; nízkoenergetický nevyžaduje licenci; široký rozsah měření; vysoká přesnost měření; všechny druhy plastů lze měřit, aniž by byly ovlivněny přísadami a předsměsí barev.
V současné době se přístroj na měření tloušťky filmu vyvinul na vysokou přesnost a automatizaci a dosáhl velmi vysoké úrovně. Jeho přesnost měření je ±2% až ±5% z naměřené tloušťky filmu pro obecnou vrstvu filmu a ±2nm pro tenký film a má funkci měření Micro area, rychlou rychlost měření a vysoký stupeň automatizace. Zejména s pokrokem technologie a aplikací přesných přístrojů lze kromě výše uvedených metod detekční technologie měřit tloušťku filmu také ultrazvukovým senzorem. Ultrazvukový senzor MaxBotix doporučený společností Gongcai-MB7480 je vysoce výkonný ultrazvukový přesný měřič vzdálenosti, který poskytuje vysokou přesnost a vysoké rozlišení ultrazvukového měření vzdálenosti ve vzduchu.
